颁布功夫：2022-12-21 | 观光：6702
内容提要：气体管路系统中气体与管路的关系： 近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品出产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求 ，使高纯气体的配管技术日益受到关注和器沉。
气体管路系统中气体与管路的关系：
近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品出产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求 ，使高纯气体的配管技术日益受到关注和器沉。以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常治理作个单一的概述。
常见气体的种类
电子行业中常见气体的分类：
通常气体 ，也称大量气体 (Bulk gas )：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
特衷禅体(Specialty gas )重要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等
特殊气体的种类通常可分为侵蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等 ，通经常用的半导体气体分类如下：
(一)、侵蚀性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 ?等
(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3?等
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等
半导体气体好多是对人体有害。出格是其中有些气体如SiH4的自燃性 ，只有一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反映 ，起头点火;还有AsH3的剧毒性 ，任何些微的泄漏都可能造成人员性命的风险 ，也就是由于这些不言而喻的危险 ，所以对于系统设计安全性的要求就出格高。
高纯气配管技术是高纯气体管路系统的沉要组成部门 ，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍维持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术蕴含系统的正确设计、管件及附件的选择、施工装置和试验测试等内容。
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